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MSB系列中频溅射电源
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产品编号
产品系列:
MSB系列
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产品描述
参数
型号定义
主要参数
● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
● 低能量储存,<0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术,功率因数高达0.95
● 输出模式多样,可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术,采用第三代半导体SiC作功率器件,效率优异
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MSD系列溅射电源
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